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半導體溫控系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術，高清顯示屏，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

TCU溫度控制系統(tǒng)是一種集成了溫度傳感器、控制器和加熱/冷卻裝置的設備。它通過監(jiān)測環(huán)境溫度并根據(jù)預設的溫度設定值自動調(diào)節(jié)加熱或冷卻裝置，以達到所需的溫度控制目標。

　高低溫一體循環(huán)機結合了高低溫控制技術與循環(huán)技術，能夠在溫度條件下，提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境，并且可以實時控制和調(diào)整溫度。這一設備廣泛應用于材料科學、生物醫(yī)學、化學物理等領域，為科研人員提供了有力的實驗條件支持。

晶圓生產(chǎn)完成后，需要對其進行各種參數(shù)的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試，晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設備。

高低溫循環(huán)溫控系統(tǒng)，高低溫循環(huán)系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。

高低溫冷卻液測試機具有熱力學溫度控制系統(tǒng)，一系列功能滿足不同的應用要求，帶有彩色觸摸屏，簡潔的導航菜單，重要參數(shù)一目了然，以圖線方式顯示實時的溫度變化，配有泵技術，優(yōu)化熱傳遞。

反應釜溫度控制系統(tǒng)(反應釜溫控系統(tǒng))采用磁耦合高溫循環(huán)泵，杜絕系統(tǒng)泄漏風險、密封好，流速大，確保設備能更快為外部系統(tǒng)換熱。配備人性化7英寸真彩LCD觸摸屏，良好的人機交互界面，直觀顯示本機參數(shù)及外部控溫參數(shù)。