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低溫制冷機(jī)也可以如氣體捕集運(yùn)用，將制冷劑直接通入捕集器蒸發(fā)，通過(guò)捕集器表面冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的氣體。

控溫系統(tǒng)，即溫度控制系統(tǒng)，是用于精確控制物體或環(huán)境溫度的復(fù)雜設(shè)備系統(tǒng)。根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景，可以分為多種類(lèi)型，如TCU控溫系統(tǒng)、集散式控溫系統(tǒng)以及針對(duì)特定領(lǐng)域如新能源部件測(cè)試的控溫系統(tǒng)。

低溫制冷機(jī)也可以如氣體捕集運(yùn)用，將制冷劑直接通入捕集器蒸發(fā)，通過(guò)捕集器表面冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的氣體。

高低溫循環(huán)裝置主要應(yīng)用于：高壓反應(yīng)釜、中試生產(chǎn)不銹鋼反應(yīng)釜、雙層玻璃反應(yīng)釜、夾套反應(yīng)釜、微通道反應(yīng)器、反應(yīng)裝置、組合化學(xué)等冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設(shè)備中，該系列可提供 -80℃~+250℃的溫度控制范圍，特殊可升級(jí)高溫至300℃，特別適用于快速放熱和吸熱的化學(xué)反應(yīng)試驗(yàn)。

高低溫循環(huán)系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。

晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，在檢測(cè)的過(guò)程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試，晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備（晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。